沈阳分院第九期科技成果云讲堂发布集成电路产业新成果

　　6月12日，沈阳分院以“引领真空技术，支撑科技创新，促进泛半导体产业发展”为主题，举办第九期“中国科学院沈阳分院科技成果云讲堂”，为辽鲁两省集成电路产业发展提供科技支撑。

　　本期云讲堂特邀到中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司佟雷、孔祥玲两位研究员，他们围绕“真空科研仪器设备简介”和“面向半导体领域的真空干泵产品的研发和产业化”做了专题讲座，共有163个异地会场组织收看了现场直播。

　　集成电路产业是辽宁、山东两省重要的战略性新兴产业，沈阳分院结合自身科技优势，推进产学研协同创新，推动科技成果与辽鲁两省集成电路产业链深度融合，提升高精尖产品的本地配套能力，促进辽鲁两省制造业水平整体增强。本期云讲堂发布的真空技术领域科技成果，是集成电路产业重要的配套技术，为辽鲁两省打造集成电路战略性新兴产业集群提供了科技支撑。

佟雷作报告

孔祥玲作报告