辽宁省发展和改革委员会于2008年6月16日，在沈阳市主持召开了“IC成膜PECVD设备研发和产业化”项目验收会。该项目是由中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司承担的国家高技术产业化示范工程项目。验收委员会认真听取、审阅了项目验收报告及相关资料，并对建设现场进行了考察，经质询和讨论，一致同意该项目通过验收。

    验收意见中指出：沈阳科仪公司完成了国家发展改革委复函中所确定的建设内容。在6英寸PECVD设备控制系统软硬件设计和零部件国产化方面实现了突破，零部件国产化率达到70%以上，整机性能达到或超过国际同类产品水平。产品填补了国内空白，实现了替代进口。

    会议主持人辽宁省发改委高技术处副处长王幼学表示，沈阳科仪公司已承担多项国家发改委IC装备相关项目，完成的非常好，均已顺利通过验收。通过项目实施，充分展现了沈阳科仪公司经营、管理的严谨与规范，也可以看出公司的综合实力和美好的发展前景。目前，沈阳市浑南新区正在建设IC装备制造产业基地，沈阳科仪公司是其中的骨干企业，希望公司加快发展，为辽沈地区IC装备产业发展作出更大贡献。（沈阳科仪公司供稿）