7月16日，辽宁省科技厅在沈阳科仪公司组织召开了“沈阳地区申报国家“十一五”IC装备重大科技专项汇报会”。辽宁省科技厅副厅长刘晓东、高新处处长母保志、副处长臧宝岭、沈阳市科技局局长宋锡坤、高新处处长周晶、浑南国家高新区管委会副主任林海波等各级政府相关领导及沈阳科仪公司、沈阳新松公司、沈阳芯源公司等沈阳地区IC装备相关企业领导出席了会议。
    会上，刘晓东副厅长认真听取了沈阳科仪公司副总裁张振厚代表几家单位作的“关于前期筹备工作及目前进展情况的报告”以及各申报单位的项目汇报。刘副厅长对各企业前期所做的工作表示肯定，对几家企业能够心系国家、服务大局表示钦佩。他指出：从国家发展及经济发展上看，IC装备具有举足轻重的作用，如果只靠引进则只能跟在发达国家后面，永远也不可能超越。目前，国家有需要，而我们有基础、有能力，更有义务、有责任去承担项目，尽管有困难也要做。做为辽宁省的科技主管部门，有责任促进地方经济发展的同时，为未来储备人才、技术。IC装备产业是非常有前景的产业，应该持之以恒发展下去。今后科技厅将重点关注IC装备产业发展，企业与企业、企业与政府部门之间要加强信息沟通，共同努力作好国家重大专项的申报工作。     最后，刘副厅长一行参观了沈阳科仪公司PECVD事业部、装调大厅以及真空泵/阀门等产品研发现场，并给予了很高评价。