6月19日，中国半导体行业协会秘书长徐小田，在沈阳市经委于浩处长、沈阳国家高新技术产业开发区新加坡工业园管委会杨琦副主任等领导的陪同下，莅临沈阳科仪参观指导。 沈阳科仪公司常务副总裁李昌龙、副总裁张振厚首先向徐秘书长简要介绍了公司概况，随后陪同来访领导参观了PECVD事业部和洁净间。徐秘书长饶有兴趣地听取了PECVD事业部总经理姜谦博士对PECVD设备研发进展情况的介绍，并详细询问了设备的寿命实验、市场销售等情况。在参观了IC装备零部件等产品装配现场后，徐秘书长建议在第六届中国国际集成电路博览会暨高峰论坛（IC China 2008）等展会上，对PECVD整机设备以及罗茨干泵（机组）、涡旋干泵、超高真空闸板阀等IC装备关键部件做一个专题报告，进一步推动IC装备及零部件的国产化进程。
