3月31日，在沈阳芯源微电子有限公司工艺调试车间，34岁的女软件工程师康宁正与同事们全神贯注地调试2、4、6寸晶圆匀胶显影设备。在兼容两种尺寸的同类设备中，他们积累了丰富的经验，但兼容三种尺寸还是头一次遇到。康宁整整花了1小时调试好软件程序，用3个多小时观察设备运行，直到设备运行良好稳定。

康宁负责调试的匀胶显影设备是为武汉一家上市企业研制的，在芯源公司研发的一系列高科技产品中，属于中小型设备。沈阳芯源公司总经理宗润福指着一个罩在蓝色保护膜里面的“大家伙”告诉记者，这是一台12寸的大型匀胶显影设备，目前，国外只有两个厂家能够生产同类产品，要价高达500万美元。为了啃这块“硬骨头”，沈阳芯源公司聘请世界顶级专家组成一流的研发团队，经过一年多的攻关，这个国家重大科技专项工程产品即将取得实质性突破。而且产品问世后，售价只有400万美元。

沈阳芯源公司成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创办的国家重点高新技术企业，主要从事集成电路高端装备的研发、制造、销售与技术服务。集成电路高端装备号称行业的“印钞机”，但长期以来一直由国外企业一统天下。由于国外设备造价高、服务费用高，使我国客户不堪重负。沈阳芯源的技术攻关也就是在这样的大背景下展开的。

沈阳芯源，这个仅有150多名员工的小型企业，却成功打破了国外产品在中国市场的垄断。他们依靠与市场互动的科技研发机制，在消化吸收国外先进技术基础上，先后取得160多项技术专利，自主研制的主导产品匀胶显影设备广泛应用于LED、高端封装等领域，匀胶显影技术达到国际先进水平，成功替代了进口产品。沈阳芯源实现集成电路设备核心部件国产化，也抢占了我国集成电路高端装备研发制造的制高点。他们研制的12寸喷涂设备一举填补了国内空白，获得2012年国家战略性创新产品奖；其研发生产的LED产品占国内市场份额的40%，不仅改变了国外大公司垄断中国市场的局面，而且凭借低成本、高性能的优势销往台湾市场。

这样的创新成果，来之不易！企业每年研发投入超过销售额的15%。为了调动科技人员的积极性，沈阳芯源让核心研发团队成员拥有公司股权，工程师的收入普遍高于管理干部的收入，为科研人员发挥才能创造了良好条件。

依靠科技创新，沈阳芯源经济效益连续3年保持50%以上的速度增长，成为中国集成电路高端装备制造业的领跑者。 □本报记者/孙万科