第二届优秀青年科技人才奖(2010年)

佟辉

撰稿: 发布时间:2019-04-26

  佟辉,中科院沈阳科仪公司高级工程师,从事设计研发工作,独立设计项目有:磁控溅射设备、离子束溅射设备、磁控与离子束复合溅射设备、磁控卷绕镀膜设备、金刚石薄膜制备设备、单晶炉系统、光源前端区非标加工项目等。